齐岳金属溅射靶材生产工序
1、原材料 - 超高纯金属材料铸锭,切断,成分检查、不纯物检查
2、塑性变形材结晶过程 - 塑性加工,热处理,尺寸检查,取向检查
3、焊接 - 焊接强度检查,焊接结合率检查
4、机加
5、检测 - 尺寸检测,成分检测、外观检测
6、清洗、干燥、包装 (包装检查、文件检查)
7、出货
金属溅射靶材溅射原理示意

齐岳金属溅射靶材种类
1.根据形状可分为方靶,圆靶,异型靶
2.根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材
3.根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等
4.根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材
齐岳高纯金属溅射靶材应用领域
1.半导体用金属靶材
半导体芯片用金属溅射靶材的作用,就是给芯片上制作传递信息的金属导线。具体的溅射过程:**利用高速离子流,在高真空条件下分别去轰击不同种类的金属溅射靶材的表面,使各种靶材表面的原子一层一层地沉积在半导体芯片的表面上,然后再通过的特殊加工工艺,将沉积在芯片表面的金属薄膜刻蚀成纳米级别的金属线,将芯片内部数以亿计的微型晶体管相互连接起来,从而起到传递信号的作用。
2.集成电路产业中高纯金属靶材及其应用
晶圆制造 - 主要金属靶材系列Al、AlSi、AlCu、AlSiCu、W、Ti、WTi等,主要用于铝互联;Cu、CuAl、CuMn、Ta、Ru等,主要用于铜互联;W、Wsi、Ti、Co、NiPt等,主要用于规划无接触;Ti、Ta、TiAl等,主要用于金属栅。
3.溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、**装饰用品等行业。
西安齐岳生物供应的纯金属单质靶材产品目录如下:
| 产品名 | 元素符号 | 纯度 |
| 钒靶材 | V | 3N |
| 铁靶材 | Fe | 3N, 3N5, 4N |
| 钴靶材 | Co | 3N5 |
| 银靶材 | Ag | 4N |
| 钼靶材 | Mo | 3N5 |
| 铌靶材 | Nb | 3N5 |
| 钽靶材 | Ta | 3N5, 4N |
| 钨靶材 | W | 3N5 |
| 镍靶材 | Ni | 3N, 3N6, 4N, 4N5, 5N |
| 钛靶材 | Ti | 2N7, 4N, 4N5, 5N |
| 铝靶材 | Al | 3N5, 4N, 4N6, 5N, 6N |
| 铬靶材 | Cr | 2N5,3N5 |
| 铜靶材 | Cu | 3N5~6N |
| 硅靶材 | Si | 3N~5N |
| 铟靶材 | In | 4N5 |
| 镓靶材 | Ga | 5N |
| 锡靶材 | Sn | 5N |
| 锆靶材 | Zr | 2N7~5N |
| 金靶材 | Au | 4N,4N5,5N |
| 锂靶材 | Li | 3N |
| 镁靶材 | Mg | 3N8,4N,5N |
| 锌靶材 | Zn | 4N,4N5,5N |
| 锰靶材 | Mn | 3N,3N5,4N |
| 铒靶材 | Er | 2N5,3N,3N5 |
| 铂靶材 | Pt | 3N5,4N,4N5 |
| 锗靶材 | Ge | 5N |
| 铱靶材 | Ir | 3N5 |
| 钌靶材 | Ru | 3N5 |
| 铼靶材 | Re | 3N5,4N |
| 锇靶材 | Os | 3N,3N5 |
| 钯靶材 | Pd | 3N5 |
| 铑靶材 | Rh | 3N5,4N |
| 钙靶材 | Ca | 2N5 |
| 钪靶材 | Sc | 4N,4N5 |
| 硒靶材 | Se | 4N,5N |
| 锶靶材 | Sr | 2N5 |
| 钇靶材 | Y | 3N,3N5,4N |
| 镉靶材 | Cd | 4N |
| 锑靶材 | Sb | 4N,5N |
| 碲靶材 | Te | 4N5,5N |
| 钡靶材 | Ba | 3N |
| 镧靶材 | La | 3N,3N5 |
| 铈靶材 | Ce | 3N5 |
| 镨靶材 | Pr | 3N5 |
| 钕靶材 | Nd | 3N5 |
| 钐靶材 | Sm | 3N5 |
| 铕靶材 | Eu | 3N5 |
| 钆靶材 | Gd | 2N,3N,3N5 |
| 铽靶材 | Tb | 3N5 |
| 镝靶材 | Dy | 3N5 |
| 钬靶材 | Ho | 3N,3N5 |
| 镱靶材 | Yb | 3N5 |
| 铪靶材 | Hf | 3N,3N5,3N8,4N |
| 铅靶材 | Pb | 4N |
| 铋靶材 | Bi | 4N,5N |
温馨提示:西安齐岳生物提供的所有产品仅用于科研,不能用于人体。




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